半导体超纯聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测要求.pdfVIP

ICS23.020.01

CCSJ20

团体标准

T/CHPSAYY005—2024T/CMES24021—2024

半导体超纯聚合物过流部件污染物

及表面粗糙度技术要求

Technicalspecificationforcontaminationandsurface

roughnessofwetcomponentsmadeofultrapurepolymer

materialsusedinsemiconductorprocessing

求意见稿）

2024-10-01发布2024-11-01实施

中国液压气动密封件工业协会

发布

中国机械工程学会

T/CHPSAYY005—2024/T/CMES24021—2024

中国液压气动密封件工业协会（英文简称CHPSA）和中国机械工程学会（英文简称CMES）是

具备开展国内、国际标准化活动资质的全国性社会团体。制定团体标准，以满足企业需要和市场需

求，推动行业创新发展，是CHPSA和CMES团体标准的工作内容之一。中国境内的团体和个人，

均可提出制、修订CHPSA和CMES团体标准的建议并参与有关工作。

CHPSA/CMES团体标准按《CHPSA/CMES团体标准管理办法》进行制定和管理。

CHPSA/CMES团体标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的3/4以上的专家、

成员的投票赞同，方可作为CHPSA/CMES团体标准予以发布。

在本标准实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给CHPSA或CMES，

以便修订时参考。

本标准版权为CHPSA和CMES所有。除了用于国家法律法规或事先得到CHPSA或CMES正式许可外，不得

以任何形式或手段复制、再版或使用本标准及其章节（包括电子版、影印件、发布在互联网及内部网络等）以及用

于其他商业目的。

中国液压气动密封件工业协会地址：北京市西城区教场口街1号2号楼2层200房间

邮政编码：100120电话：0108019传真：010

网址：电子信箱：fuh@

邮政编码：100120电话：0108016传真：010

I

T/CHPSAYY005—2024/T/CMES24021—2024

目次

前言Ⅲ

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4检测规则3

4.1检测类型3

4.2离