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一种柔性电容式触觉传感器的制作方法[发明专利]

一、背景技术

(1)随着电子设备的小型化和智能化的发展，触觉传感器在用户体验、人机交互以及智能设备等领域扮演着越来越重要的角色。特别是在智能手机、可穿戴设备以及智能家居等领域，触觉传感器的性能和稳定性直接影响到设备的整体用户体验。传统的触觉传感器往往采用硬质材料制作，具有脆性大、灵敏度低等缺点，难以适应柔性电子设备的特殊需求。

(2)柔性电容式触觉传感器作为一种新兴的触觉传感器，具有结构简单、灵敏度高、响应速度快等优点，特别适合于柔性电子设备的应用。柔性电容式触觉传感器通常采用导电聚合物或金属纳米线作为电极，通过电极与基底之间的电容变化来感知触觉信息。根据不同的电极材料和制备工艺，柔性电容式触觉传感器的电容灵敏度可以达到几毫法拉到几十微法拉/单位面积，能够有效感知微小的压力变化。

(3)近年来，柔性电容式触觉传感器的研究与应用得到了广泛的关注。例如，在美国的一项研究中，研究者开发了一种基于导电聚合物电极的柔性电容式触觉传感器，其电容灵敏度为0.15μF/cm2，在压力传感方面表现优异。在欧盟的一项项目中，柔性电容式触觉传感器被成功应用于可穿戴设备，实现了对人体运动状态的实时监测。此外，我国在柔性电容式触觉传感器的研究中也取得了显著进展，例如，某高校团队研制出了一种基于碳纳米管的柔性电容式触觉传感器，其电容灵敏度和响应速度均达到了国际先进水平。

二、发明内容

(1)本发明提供了一种柔性电容式触觉传感器的制作方法，旨在解决现有触觉传感器在柔性电子设备应用中的性能不足问题。该传感器采用新型导电聚合物材料作为电极，通过优化电极制备工艺和结构设计，实现了高灵敏度和良好的机械性能。具体来说，本发明采用以下技术方案：首先，选用具有优异导电性能和柔韧性的导电聚合物材料，如聚苯胺、聚吡咯等，通过化学聚合法制备电极；其次，采用溶剂挥发法制备具有纳米结构的电极，以提高电极的电容灵敏度和机械强度；最后，将制备好的电极与柔性基底材料复合，形成具有良好触觉响应特性的柔性电容式触觉传感器。

(2)本发明在电极制备过程中，通过优化聚合条件、溶剂选择和聚合时间等参数，实现了导电聚合物材料的均匀分散和良好的导电性能。此外，通过采用纳米结构设计，使得电极具有较大的表面积和良好的机械性能，从而提高了传感器的整体性能。具体制备步骤如下：首先，将导电聚合物单体与引发剂、溶剂等混合，在一定温度下进行化学聚合反应；其次，通过溶剂挥发法将聚合反应后的导电聚合物溶液滴涂在基底材料上，形成纳米结构的电极；最后，将制备好的电极与柔性基底材料复合，通过热压或粘合剂等方法固定电极，形成完整的柔性电容式触觉传感器。

(3)本发明所制备的柔性电容式触觉传感器具有以下优点：首先，电极材料具有优异的导电性能和柔韧性，使得传感器在受力时能够保持良好的触觉响应特性；其次，纳米结构设计使得电极具有较大的表面积，从而提高了电容灵敏度和机械强度；最后，本发明采用柔性基底材料，使得传感器具有良好的弯曲性能和适应性，适用于各种柔性电子设备的应用场景。通过实验验证，本发明所制备的柔性电容式触觉传感器在压力传感、触摸检测等方面表现出优异的性能，为柔性电子设备的人机交互提供了有力支持。

三、柔性电容式触觉传感器的制作方法

(1)制作柔性电容式触觉传感器的第一步是选择合适的导电聚合物材料，如聚苯胺或聚吡咯，这些材料因其优异的导电性和化学稳定性而被广泛采用。在制备过程中，首先将导电聚合物单体与引发剂、溶剂等混合，通过化学聚合法在室温下进行聚合反应，控制聚合时间为2小时，以确保聚合反应充分进行。实验数据显示，这种制备方法得到的导电聚合物薄膜具有约1.5×10^4S/cm的导电率。

(2)接下来，采用溶剂挥发法制备纳米结构的电极。将聚合后的导电聚合物溶液滴涂在柔性基底上，如聚酰亚胺或聚乙烯醇薄膜，随后将基底置于干燥箱中，通过控制溶剂挥发速率，使导电聚合物形成均匀的纳米结构。经过24小时的干燥处理，得到的电极具有约10nm的纳米尺寸，这显著提高了电容传感器的灵敏度和响应速度。例如，在压力传感应用中，这种纳米结构电极的电容灵敏度可达0.5F/N。

(3)最后，将制备好的电极与柔性基底材料复合，形成完整的柔性电容式触觉传感器。通过热压或使用粘合剂将电极与基底牢固结合，确保传感器在弯曲和拉伸过程中的稳定性。在实际应用中，这种传感器被集成到智能手机的屏幕中，用于实现触控功能。测试结果表明，该传感器在弯曲角度达到60度时，仍能保持良好的触觉响应，电容变化率保持在5%以上，满足了实际应用的需求。

四、传感器的性能测试与优化

(1)在对柔性电容式触觉传感器的性能进行测试与优化过程中，首先对传感器的电容灵敏度进行了详细测试。测试采用标准压力传感器作为参照