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《“人工智能+”制造领域OHT天车与其调
度系统的数据接口规范》征求意
见稿)编制说明
一、工作简况
(一)任务来源
本项目是根据《2024年苏州市人工智能行业协会团体标准(第三批)立项公示》(苏州智协标〔2024〕10号)制定,由成川科技(苏州)有限公司提出,苏州市人工智能行业协会归口。计划完成时间2025年2月。
(二)主要工作过程
1.调研立项阶段
OHT(OverheadHoistTransfer)空中走行式搬送车是一种能在空中轨道上行驶之自动化搬运机器人,是半导体自动化物料搬运系统(AMHS)的核心组件,实现了晶圆在各加工区间快速稳定的搬运。OHT可以快速准确地将晶圆搬送到目的地,能够大幅提高效率,减少人工成本,增加产能,提升稳定性,成为满足半导体生产的关键搬送设备。OHT作为半导体制造的基础,其运行效率决定着工厂的生产效率,对国内半导体产业的稳定发展具有重要意义。OHT需要与半导体工厂的其他自动化系统(如MES、EAP等)紧密集成,以实现数据的实时交换和优化物料流动,因此对其调度系统的数据接口有着非常高的要求,应对其进行标准化规范和管理。苏州市人工智能行业协会于2024年12月7日组织技术专家
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召开了团体标准立项评审会议,对OHT天车与其调度系统的数据接口规范立项申请内容进行立项评审,提出建议和意见。经过充分的交流论证,《“人工智能+”制造领域OHT天车与其调度系统的数据接口规范》团体标准通过立项评审及公示。
2.组建工作组,形成标准草案
通过立项评审后,由起草单位和相关技术专家共同组建了团体标准工作组。起草小组结合多年的开发及应用实践,多次召开内部研讨会,形成标准大纲,并邀请了专家和相关企业对标准进行技术指导,对《“人工智能+”制造领域OHT天车与其调度系统的数据接口规范》的标准编制工作重点、标准制定依据和编制原则等形成了共识,同时完成标准草案稿的撰写。之后经过起草工作组的多次沟通和讨论,对标准部分内容进行补充修改,于2025年1月13日形成标准征求意见稿。
3.主要参加单位和工作组成员及分工
本标准由成川科技(苏州)有限公司牵头制定,博众精工科技股份有限公司、荣旗工业科技(苏州)股份有限公司等单位共同起草。
二、标准编制原则和主要内容
(一)编制原则
本标准的制定基于牵头单位成川科技在半导体自动物料搬运系统整体解决方案领域的实践和专业积累,根据OHT天车调度系统实际数据接口规范进行标准制定,以达到半导
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体工厂能够与OHT调度系统高效地集成和通信,提高系统的互操作性,简化多品牌环境下的集成流程,降低实施复杂性和成本。
在标准编制格式方面,该标准的编制依据GB/T1.1《标准化工作导则第1部分:标准的结构和编写》。在起草过程中,广泛收集查阅了国内相关标准和相关技术文献,对于本标准的编写遵循OHT天车调度系统实际数据接口规范需求,对促进半导体工厂能够与OHT调度系统高效地集成和通信具有积极意义。
(二)主要内容
本标准主要规定OHT天车调度系统的数据接口的术语和定义、技术规定、报文格式、消息格式、任务和动作等相关内容。本文件规定了OHT天车与其调度系统的通讯方式采用TCP或UDP传输协议。
三、主要评价指标体系及试验(或验证)情况
本标准将在发布后计划本团体范围内开展相关试验。
四、标准中如果涉及专利,应有明确的知识产权说明
本标准涉及知识产权将另做说明。
五、预期达到的社会、对产业发展的作用等情况
本标准可促进半导体工厂与OHT调度系统高效地集成和通信。通过制定“OHT天车与其调度系统的数据接口规范”可以提高系统的互操作性,简化多品牌环境下的集成流程,
降低实施复杂性和成本。
六、采用国际标准和国外先进标准情况,与国际、国外
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同类标准水平的对比分析情况
2023年深圳市机器人标准检测技术学会发布了《工业应用移动机器人与其调度系统数据接口规范》团体标准,规定了工业应用移动机器人与其调度系统通讯接口的内容及格式、通信协议结构,信息传输、交互和控制等技术要求。适用于工业应用移动机器人系统相关软件的设计、开发及应用。
2024年上海市集成电路行业协会发布了集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求》团体标准,《,主要技术内容包括集成电路晶圆厂用天车传送系统的术语和定义、缩略语、技术要求、环境要求、安全要求、标志、包装、运输和贮存、交付要求。
目前全国范围内尚未对OHT天车调度系统的数据接口规范进行标准制
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