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硅太阳电池的CrOx空穴选择性接触制备及性能研究

一、引言

随着可再生能源的快速发展，硅太阳电池已成为太阳能转换的关键技术之一。硅太阳电池的性能主要取决于其内部结构和材料性质，其中，空穴选择性接触作为关键组成部分，对于电池的效率和稳定性起着至关重要的作用。近年来，CrOx材料因其良好的导电性、高透明度和空穴选择性被广泛应用于硅太阳电池的空穴选择性接触制备中。本文旨在研究CrOx空穴选择性接触的制备方法及其对硅太阳电池性能的影响。

二、CrOx空穴选择性接触的制备

1.材料与设备

本实验采用硅基底、CrOx材料以及真空蒸镀设备、光学显微镜、电导率测试仪等辅助设备。

2.制备过程

（1）对硅基