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分子泵真空泵

分子泵和真空泵是现代科学研究和工业生产中常用的真空设备。本

文将分别介绍分子泵和真空泵的原理、结构和应用。

一、分子泵

分子泵是一种利用分子撞击和吸附原理将气体排出的高真空泵。其

主要由转子、静子和泵体组成。

1.原理

分子泵的工作原理是通过转子的高速旋转，将气体分子从入口端吸

入泵体，然后在转子和静子之间的空间中发生多次碰撞。由于气体

分子之间的碰撞力很小，碰撞后会改变运动方向，最终被挤向泵体

的出口端，从而实现气体的排除。

2.结构

分子泵的转子通常由许多叶片组成，叶片之间呈螺旋状排列。在高

速旋转的同时，转子上的叶片会与静子之间的壁面形成一个狭窄的

通道，气体分子只能通过这个通道进入泵体。静子通常是一个环形

的结构，其内部有许多小孔，用于吸附气体分子。

3.应用

分子泵广泛应用于半导体制造、真空冷冻、航天科研等领域。由于

其高真空度和高抽气速度，能够有效排除气体中的杂质，保证真空

环境的洁净度。

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二、真空泵

真空泵是一种将气体抽出封闭容器的设备，常用于实验室、化工、

制药等领域。根据工作原理的不同，真空泵可分为机械泵、扩散泵、

栅极离子泵等多种类型。

1.机械泵

机械泵是一种利用机械运动将气体排出的真空泵。其结构简单，由

主泵和辅助泵组成。主泵通常是离心泵或旋片泵，通过转子的旋转

将气体抽出。辅助泵主要用于增加真空泵的抽气速度。

2.扩散泵

扩散泵是一种利用气体分子的扩散运动将气体排出的真空泵。其结

构复杂，由扩散器、冷凝器和泵体组成。扩散器通常是一个环形的

结构，内部有许多小通道，气体分子通过这些通道扩散到冷凝器中

被冷凝。

3.栅极离子泵

栅极离子泵是一种利用离子撞击气体分子将气体排出的真空泵。其

结构由栅极、阳极和泵体组成。离子通过栅极加速后与气体分子碰

撞，将其排出。栅极离子泵具有高真空度和高抽气速度的特点。

真空泵的应用非常广泛，既可用于实验室的真空抽取，又可用于工

业生产中的真空处理。在高真空环境下，真空泵能够有效地排除气

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体，保证实验和生产的顺利进行。

总结：

分子泵和真空泵是常用的真空设备，分子泵通过分子撞击和吸附原

理排除气体，真空泵通过机械运动、扩散运动或离子撞击排除气体。

它们在科学研究和工业生产中发挥着重要作用，保证了实验和生产

的高真空环境。

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