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基于MEMS的槽波地震仪的研制
目录
内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
MEMS技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.1MEMS技术定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.2MEMS技术发展历史．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
2.3MEMS技术应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
MEMS地震仪的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
3.1MEMS地震仪工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
3.2MEMS地震仪结构组成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.3MEMS地震仪性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
槽波地震仪的研制需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
4.1地震勘探中槽波的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
4.2槽波地震仪的技术要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
4.3槽波地震仪的研制难点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
MEMS槽波地震仪设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
5.1系统架构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
5.1.1传感器选择与布局．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
5.1.2信号处理单元设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
5.1.3电源管理模块设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
5.2硬件电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
5.2.1微控制器选型与接口设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
5.2.2传感器与信号调理电路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
5.2.3电源电路设计与稳定性考虑．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
5.3软件编程与算法实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
5.3.1数据采集与处理算法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
5.3.2数据存储与传输策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
5.3.3用户界面设计与交互逻辑．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
槽波地震仪的实验研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
6.1实验设备与环境搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
6.2实验方案设计与实施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
6.3实验结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
MEMS槽波地震仪的性能评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
7.1性能评估标准与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
7.2实验室测试结果分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
7.3现场应用效果评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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