新型传感器综述.ppt

化学效应10-11学年第二学期新型传感器2.半导体表面场效应：利用电压所产生的电场控制半导体表面电流的效应称为半导体表面场效应。是绝缘栅场效应晶体管（如MOS场效应管）基本的工作原理。这种控制作用随环境气体、溶液离子浓度等化学物质而变化，则可构成气敏、离子敏、生物敏等半导体场效应化学传感器。例如离子敏场效应管，在绝缘栅上制作一层敏感膜来代替栅极，利用敏感膜与化学物质的电化学作用产生的电位来控制场效应管的电流输出。第26页,共42页，星期六，2024年，5月化学效应10-11学年第二学期新型传感器3.中性盐效应：在化学反应系统中加入中性盐后，系统的离子强度发生变化，从而影响其反应速度，这种现象称为中性盐效应。4.电泳效应：当水溶液电解时，溶液中的离子向电极方向移动（电泳），因水溶液流动阻碍离子移动而减小其迁移率的现象称为电泳效应。第27页,共42页，星期六，2024年，5月多普勒效应10-11学年第二学期新型传感器具有一定频率f0的信号源（如光源）与传感器之间以速度v相对运动，传感器所接受的信号频率f将与信号源自身频率f0不相同，并且，若两者相对运动，则，若两者相向运动，则，这种现象称为多普勒效应。第28页,共42页，星期六，2024年，5月多普勒效应10-11学年第二学期新型传感器如光波，设光波与传感器之间相对运动的方向在同一直线上，光波源的频率为f0，当两者以速度v相对于光源运动，在光速为c的情况下，传感器所接受到的光波信号频率为f，则式中，表示传感器与光源之间相对运动的方向，为光源与传感器两者相对运动方向之间的夹角。第29页,共42页，星期六，2024年，5月二、新型敏感材料10-11学年第二学期新型传感器传感器的敏感材料指能利用物理效应或化学、生物反应原理做成敏感元件的基本材料。按结晶状态可分为单晶、多晶、非晶和微晶等，按电子结构和化学键可分为金属、陶瓷和聚合物等；按物理性质可分为超导体、导体、半导体、介电体、压电体、铁磁体、铁弹体、磁弹体等；第30页,共42页，星期六，2024年，5月二、新型敏感材料10-11学年第二学期新型传感器按形态分有掺杂、微粉、薄膜、块状、纤维等；按功能可分为力敏、压敏、光敏、色敏、声敏、磁敏、气敏、湿敏等。第31页,共42页，星期六，2024年，5月半导体敏感材料10-11学年第二学期新型传感器半导体敏感材料可以将多种非电量转换为电量，无论是光、声、热、磁、气、湿等都可以利用相应的半导体材料进行传感。第32页,共42页，星期六，2024年，5月半导体敏感材料10-11学年第二学期新型传感器材料类型典型材料可测物理量备注单晶Si、Ge力、光、磁多晶Si光、压、热可制成薄膜非晶态a-Si：H热、应变、光制作成薄膜异质结外延Si加速度、压力、酶在蓝宝石上定向外延的单晶膜化合物GaAs、InSd、ZnS、CdS、TeCdHg、PbS力、磁、光、紫外、红外、超声第33页,共42页，星期六，2024年，5月光导纤维10-11学年第二学期新型传感器光纤作为远距离传输光波信号的媒质，最早用于光通信技术。光纤传感器的基本原理是将光源入射的光束经由光纤送入调制区，在调制区内，外界被测参数与进入调制区的光相互作用，使光的光学性质如光的强度、波长（颜色）、频率、相位、偏振态等发生变化成为被调制过的信号光，再经由光纤送入光敏器件、调制器而获得被测参数。第34页,共42页，星期六，2024年，5月光纤传感器数值孔径：表示向光纤入射信号光波难易程度的参数。临界入射角大小由光纤本身的性质所决定；光纤的数值孔径越大，表明它可以在较大的入射角范围内输入全反射光，并保证此光波沿纤芯传输。二、光导纤维及其传光原理第35页,共42页，星期六，2024年，5月光纤传感器二、光导纤维及其传光原理归一化频率：能够传输较大v值的光纤（即能够传输较多的模）叫多模光纤；仅能传输v值小于2.41的光纤叫单模光纤。单模和多模光纤是最常用的，通称为普通光导纤维。特殊光导纤维，典型的有保偏光导纤维。沿纤芯传输的光可以分解为沿轴向和沿径向两部分平面波成分。沿径向的平面波在纤芯与包层的界面处全反射，每一往复传输