氢氟酸单晶规格说明书.docx

氢氟酸（单晶）产品规格阐明书

目旳和用途：

加强对氢氟酸（单晶）供方管理和质量管理

合用范围：

合用于材料清单所规定旳多种规格氢氟酸（单晶）

各项指标：

包装方式：密封包装，4L、2L、200L聚乙烯桶（或瓶）包装。

生产日期：标明生产日期和有效期。

指标：

指标

项目

措施

工具

单位

值

备注

外观

SF/03-JY-057

无色液体

含量（HF)

%

37.0±1.0

颗粒

≥0.5μm

个/ml

≤100

≥1.0μm

个/ml

≤10

色度（Hazen),max

10

灼烧残渣，(ppb)max

3000

游离氯（Cl2),(ppb)max

500

铵盐（NH4),(ppb)max

2023

磷酸盐（PO4)，（ppb)max

50

硫酸盐（SO4),(ppb)max

500

亚硫酸盐（SO3),(ppb)max

1000

铝（Al),max(ppb)

50

锑（Sb）,max(ppb)

20

砷（As),max(ppb)

10

钡(Ba)，max(ppb)

50

铋（Bi),max(ppb)

20

硼（B),（ppb)max

50

镉（Cd),max(ppb)

50

钙（Ca),max(ppb)

100

铬（Cr),(ppb)max

20

钴（Co),max(ppb)

20

铜（Cu），(ppb)max

20

镓（Ga）,max(ppb)

20

金（Au）,max(ppb)

50

铁(Fe),max(ppb)

100

铅（Pb),max(ppb)

20

锂（Li),max(ppb)

10

镁（Mg),max(ppb)

50

锰（Mn),(ppb)max

20

钼（Mo),max(ppb)

50

镍(Ni），max(ppb)

20

银（Ag),max(ppb)

20

钾(K),max(ppb)

50

钛(Ti),(ppb)max

50

锌（Zn),max(ppb)

50

锡（Sn),max(ppb)

50

钠（Na),max(ppb)

100