CHELIC气立质量流量控制计器-MFM系列说明书用户手册.pdf

概述

▲注意事項

(1)介質使用要求

使用本產品時，必須保證氣體潔淨、乾燥，避免粉塵、液體和油污的混入。

建議用戶在氣路中安裝過濾和乾燥裝置。若產品出口處接有液體源，則必須在出口處安裝單向閥，防止液體回流對

產品造成損壞。

若使用本產品測量危險氣體，請務必採取必要的預防措施。

警告

對於危險、易燃易爆的氣體，操作時必須極為小心，以避免安全事故。

(a)在使用前，應確保安裝和連接氣路的氣密性並進行嚴格檢驗。

(b)若危險氣體具有潮濕性，須先進行乾燥處理，並保證氣體不會與儀器或密封材料產生化學反應。

(c)從系統上卸下本產品時，應在斷開氣路前，使用乾燥且對人體無害的常規氣體(如氮氣、空氣)或惰性氣體對

產品進行徹底清洗。

(d)除非本產品已通過有效認證，否則不得在易爆炸性環境中使用。

(2)閥口密封問題

氣體質量流量計/控制器為流量測試裝置，並不配備閥門，需由用戶自行配置截止閥。

特別是在使用危險氣體的情況下，用戶應在本產品的進、出氣口各安裝一個截止閥，以保證操作安全。

▲初步檢查

(1)檢查氣源及氣路

檢查氣源是否打開，並確認氣體已正確通入產品的氣路中。

(2)檢查電源及控制信號

確保電源和控制信號已正確輸送至電路板上的電氣接頭。

(3)檢查通訊線

確認通訊線是否正確連接，避免因接線錯誤造成的故障。

▲故障檢查

根據以下表格進行故障診斷和排除。

序號故障現象可能原因處理方式

1開機後，無氣流通過氣源未開，氣路未通接通氣源，開通氣路

仍有氣體流動檢查截止閥是否關閉

電源故障檢查電源

2不通氣時，顯示值不為零

零點偏差使用零點校準功能

*其他故障請與本公司聯繫

氣路連接不正確檢查氣路連接

壓力不在要求範圍檢查進氣壓力

3顯示值與實際流量不一致