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摘要
静电卡盘是半导体制造的核心部件，广泛应用于大规模集成电路制造工艺，但是
我国目前静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段，静电卡盘市场主要是由国外厂商占
据，国内存在被“卡脖子”的风险，国产替代需求迫切。同时目前静电卡盘是以库伦
型静电卡盘为主，其存在工作电
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