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改进西门子法生产多晶硅工艺流程
多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来,由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽一样,因此生产工艺技术不同;进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异,各有技术特点和技术隐秘,总的来说,目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有:改进西门子法、硅烷法和流化床法。改进西门子法是目前主流的生产方法,承受此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的
85%。但这种提炼技术的核心工艺仅仅把握在美、德、日等 7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的 90%,它们形成的企业联盟实行技术封锁,严禁技术转让。短期内产业化技术
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