JJF(津) 11-2020 气敏传感器测试仪校准规范.docxVIP

天津市地方计量技术规范JJF(津)11—2020

气敏传感器测试仪校准规范

CalibrationSpecificationforGasSensorTester

2020-09-28发布2020-10-20实施

天津市市场监督管理委员会

发布

JJF(津)11—2020

气敏传感器测试仪校准规范

JJF(津)11-2020

CalibrationSpecificationforGasSensorTester

归口单位：天津市市场监督管理委员会

主要起草单位：天津市计量监督检测科学研究院

参加起草单位：北京中聚高科科技有限公司

本规范委托天津市计量监督检测科学研究院负责解释

JJF(津)11—2020

本规范主要起草人：

王志鹏(天津市计量监督检测科学研究院)

郭知明(天津市计量监督检测科学研究院)

姚尧(天津市计量监督检测科学研究院)

参加起草人：

孙银合(天津市计量监督检测科学研究院)

白玉洁(天津市计量监督检测科学研究院)

徐冬梅(北京中聚高科科技有限公司)

JJF(津)11－2020

目录

引言 (Ⅱ)

1范围 (1)

2概述 (1)

3计量特性 (1)

3.1电流输出误差 (1)

3.2电压输出误差 (1)

3.3电阻测量误差 (1)

4校准条件 (1)

4.1环境条件 (1)

4.2测量标准 (1)

5校准项目和校准方法 (1)

5.1校准点的选择 (1)

5.2电流输出误差或电压输出 (1)

5.3电阻测量误差 (2)

6校准结果表达 (2)

7复校时间间隔 (3)

附录A气敏传感器测试仪校准记录（推荐） (4)

附录B校准证书内页格式（推荐） (5)

附录C电流输出误差测量不确定度评定 (6)

附录D电压输出误差测量不确定度评定 (8)

附录E电阻测量误差测量不确定度评定 (10)

I

引言

本规范依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》和JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编写。

本规范的制定参考了GB/T15653-1995《金属氧化物半导体气敏元件测试方法》、JB/T11623-2013《平面厚膜半导体气敏元件》等技术标准。

本校准规范为首次发布。

II

JJF（津）11—2020

气敏传感器测试仪校准规范

1范围

本规范适用于电阻型半导体气敏传感器测试仪的校准。

2概述

气敏传感器测试仪（以下简称“仪器”）主要用于测试半导体气敏传感器的性能，如进行灵敏度分析、选择性分析等。仪器主要由气室、测量系统、数据采集与传输系统等组成。

3计量特性

3.1电流输出误差

不超过±2mA。

3.2电压输出误差

不超过±0.05V。

3.3电阻测量误差

不超过读数的±0.5%。

注：以上指标不用于合格性判别，仅做参考。

4校准条件

4.1环境条件

4.1.1环境温度：（15～35）℃,校准过程中温度变化不超过±2℃。

4.1.2相对湿度：≤75%。

4.1.3供电电源：交流（220±22）V，（50±0.5）Hz。

4.1.4无明显机械振动，无电磁干扰，避免阳光直射被校准仪器。

4.2测量标准

4.2.1数字多用表

最小分辨力：电流≤0.001mA,电压≤0.001mV。最大允许误差：电流±0.01mA，电压±0.01mV。

4.2.2电阻箱：0.05级。

5校准项目和校准方法

5.1校准点的选择

一般根据用户的需要选择校准点。如无特殊要求，则在量程范围内均匀选择6个校准点。

5.2电流输出误差或电压输出误差

1

JJF（津）11—2020

仪器按使用说明书的要求通电预热稳定后，按图1连接数字多用表与仪器。根据校准点调节仪器的输出值，记录数字多用表的示值，重复测量3次，按式（1）计算电流

输出误差或电压输出误差。

DA=Ax-A