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摘要
摘要
随着信息技术的飞速发展，数据流量呈现出指数级的增长，这对光通信技术提
出了高带宽、低功耗、小尺寸和低成本等多方面要求。为了满足这些要求，硅光子
学技术是目前一种可行的解决方案。但由于受到硅材料本身的光电特性的限制，在
硅基平台上实现高性能的有源器件仍然存在一定的挑战。石墨烯是一种具有超高载
流子迁移率、宽光谱吸收等优点的二维光电材料，因此将其与硅基器件进行异质集
成，可以获得高性能的有源器件。在异质集成过程中由于硅基
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