碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体-征集意见稿.pdf

T/SDAMAXXXXX—202X

碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体

1范围

本文件规定了碳化硅陶瓷晶舟制品用碳化硅粉体的代号与标记、技术要求、试验方法、检验规则和

包装、标志、运输、贮存。

本文件适用于碳化硅质量分数含量不小于99.99%的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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GB/T8946塑料编织袋通用技术要求

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JB/T11433普通磨料密度的测定

ISO/TS15338表面化学分析.辉光放电质谱法.操作规程

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4代号与标记

产品代号由高纯碳化硅粉体H-SiC；一般工业用途碳化硅牌号F；碳化硅粒度范围数字（240和1200）；

标准编号组成。粒度范围数字前冠以牌号“F”。标记顺序为：H-SiC-F粒度范围数字标准编号。

示例：粒度范围数字为240的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体标记为：H-SiC-F240T/SDAMAXXXX－202X

5技术要求

5.1纯度和杂质元素含量

5.1.1纯度

产品纯度应符合表1的规定。

1

T/SDAMAXXXXX—202X

表1产品纯度

元素单位含量

SiC%≥99.99

Si/主元素

C/主元素

5.1.2主要杂质元素含量

产品主要杂质元素应符合表2的规定。

表2主要杂质元素

元素单位含量

Femg/kg＜30

Almg/kg＜30

Namg/kg＜10

Mgmg/kg＜10

Camg/kg＜10

5.2粒度分布

产品各牌号粒度分布见表3。

表3各牌号粒度分布

粒度/um

牌号