薄膜型光谱分光元件研制进展与应用.pptx

第二届逐梦光电国产分析仪器研制与应用研讨会暨高端分析仪器与传感器产业聚集发展论坛薄膜型光谱分光元件研制进展与应用时间：2021.07.14报告人:高劲松

背景简介01研制现状0204产品应用03结束语

背景简介3光在通过分层媒质时，来自不同界面的反射光、透射光在光的入射及反射方向产生光的干涉现象，正是利用这种干涉现象，人为的通过改变薄膜材料及其厚度等特性来人为的控制光的干涉，根据需要来实现光能的重新分配。355nm1064nm增透薄膜高反射薄膜根据什么需要呢？能量的需要、位相的需要、光谱的需要…光学薄膜工作原理与功能

背景简介4例如：薄膜窄带滤光片是根据法布里—珀珞多光束干涉仪制成的，干涉膜系按最初的形式法布里-珀珞干涉仪是由两块相同的、间距为d的平行反射板组成(如图)，对于平行光线，除了一系列按相等波数间隔分开的很窄的透射带而外，其余所有波长的透射率都很低。这个标准具可以代换成一个完全的薄膜组合——两个反射层夹一个介质层，介质层取代间距d的位置，称为间隔层。光学薄膜工作原理与功能

背景简介5最初十几年薄膜工作的大部分时间里是在做厚度这个方向一维的事情，层数从几层到几十层几百层，把每层厚度做精，折射率做准，微观结构致密。而近十几年来则开始做了另外两维的工作了，先是把薄膜做大，再就是把薄膜做成图案，今天要介绍的就是和薄膜图案相关的工作。

背景简介在十年前，虽然长春光机所凭借在光电领域几十年的技术积累，在空间光学遥感领域取得了优异的成绩，在我国空间光学领域占据了举足轻重的地位，但是我们的光电传感器还全部依赖进口。本项研究就起源于我所某项目需要进口英国E2V公司某款带有多光谱滤光片窗口的CCD探测器受限而引起的，英国公司明确表示该款CCD不带滤光片可以出口，带有滤光片的限制对中国出口，这就逼迫我们自力更生自主研发多光谱滤光片，也就是本次与大家探讨的主角之一！

背景简介为什么CCD带了一个滤光片就不能进口了呢？光谱范围（颜色）时间分辨率动态范围视角深度空间分辨率十亿像素超高清3840*2160高清1920*1080标清720P光场裸眼立体双目立体平面（1nm）高光谱多光谱RGB黑白皮/飞秒120HZ60HZ30HZ15HZ8位10/12位24位光学（遥感）成像技术追求的是极致信息的提取，最重要的几个维度就是如右图显示的几个方面：

背景简介8牛顿《光学》著作于1704年问世，第一节专门描述了关于颜色起源的棱镜分光实验和讨论；更为神奇的是所有物体的发光、透射光、反射光、吸收光散射光的光谱特征都与该物体材料的自身内、外部结构密切相关；光谱犹如人独有标记-指纹为物质增添一维标签。光谱分析成为了光学和物质结构研究的主要手段。彩色成像技术是人们第一次将图像和光谱结合，具有划时代的历史意义！不仅知道长啥样还可能通过光谱知道是什么材料！利用多光谱、高光谱成像技术获得图谱合一的遥感信息是人们努力的方向！

背景简介要获得光谱信息就需要色散元件，牛顿采用的三棱镜就是最常用的色散元件之一，现代光学仪器最常用的色散元件是衍射光栅，除此之外人们还用可调谐的F-P腔等等进行光的色散。薄膜滤光片也是人们获得光谱信息的重要手段，例如现代彩色成像中用到的拜尔滤光片就是用三个红绿蓝彩色滤光片实现了可见光的光谱应用。光栅分光原理棱镜分光原理

10回到前面讲述的E2VCCD滤光片，其实就是需要一款具有很高精度的一维图案滤光片，随后团队采用光刻+镀膜复合工艺精密成功制作出4、5通道多光谱滤光片。LeyboldSYRUS离子辅助沉积ABM高精度双面曝光机滤光片最小尺寸0.72mm滤光片图案精度:2μm研制现状---具有一维图案的薄膜滤光片

研制现状---具有一维图案的薄膜滤光片1126μm接下来，针对DALSA、E2V等芯片制造商限制对华销售航天级多光谱芯片的问题，团队研制了多光谱滤光片，透过率高达95%以上，并成功应用于TH-1等空间相机，成像效果良好。

TH-1空间相机彩色成像研制现状---具有一维图案的薄膜滤光片

13通道数量的增加意味着更多的光谱信息，采用镀膜+光刻复合工艺制作多光谱滤光片，当通道数增加时，光刻工艺更加复杂，成品率下降，限制了通道数目的增加。采用滤光片裁剪拼接的方式制作多光谱滤光片，通道数目可达8谱以上。该款滤光片已经应用高分六宽幅相机载荷。采用多光谱滤光片技术拍摄的多光谱图像研制现状---具有一维图案的薄膜滤光片

14高分六号成功应用8通道多光谱滤光片高分六号卫星设计寿命8年，配置2米全色/8米多光谱高分辨率相机、16米多光谱中分辨率宽幅相机。高分六号还实现了8谱段CMOS探测器的国产化研制，国内首次增加了能够有效反映作物特有光谱特性的“红边”波段。该项目即采用了团队研制的多光谱滤光片。于