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电气自动化监控系统的设计研究.docx

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    题目：电气自动化监控系统的设计研究

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    TOC\o1-3\h\z\u第一章：绪论 3

    1.1真空设备的发展及应用 3

    1.2本文的主要内容 3

    第二章：真空实验设备技术要求 3

    2.1真空容器 3

    2.2获得系统 4

    2.3测量与控制系统 6

    第三章：真空实验设备监控系统设计 8

    3.1真空获得系统监控原理及组成 8

    3.2测量监控系统原理及组成 9

    3.3软件设计 9

    3.4硬件设计 10

    3.5配置表 11

    3.6系统组装调试 15

    第四章：真空实验设备监控系

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