《LCD生产工艺》课件.pptVIP

LCD生产工艺概述

LCD，即液晶显示器，是现代电子产品中常见的显示技术。LCD生产工艺涉及多道复杂工序，从基板制备到像素形成，最终实现图像显示。

LCD面板的发展历程

1

2000年后

液晶面板技术逐渐成熟，市场需求快速增长。

2

1990年代

TFT-LCD技术问世，取代了传统STN-LCD，成为主流。

3

1970年代

第一台液晶显示器问世，主要应用于手表、计算器等小型设备。

LCD面板经历了从单色到彩色，从小型到大型，从低分辨率到高分辨率，从低亮度到高亮度，从低对比度到高对比度的发展过程。

LCD面板的构造

玻璃基板

LCD面板的基础，由玻璃构成，表面涂覆透明电极。

液晶层

夹在两片偏光板之间，受电场控制，改变光线偏振方向。

背光模组

提供照亮LCD面板的光源，通常使用LED或CCFL。

偏光板

控制光的偏振方向，与液晶层配合实现图像显示。

TFT-LCD面板的制作工艺流程

基板清洗

清洁基板表面，去除灰尘、油污等杂质，确保表面洁净，为后续工艺做好准备。

光刻工艺

使用光刻机将掩模图案转移到基板上，形成所需电路图形。

薄膜沉积

在基板上沉积各种薄膜材料，例如氧化硅、氮化硅、金属等。

离子注入

利用离子束将特定元素注入基板中，改变基板的电气特性。

剥离

剥离不需要的材料，例如光刻胶等，以露出所需图案。

蚀刻

利用化学或物理方法将不需要的材料去除，形成最终的电路图案。

对准

对准多个基板层，确保各层图案精确对齐，以实现电路连接。

液晶注入

将液晶材料注入到TFT基板上，形成液晶层，用于显示图像。

密封

将TFT基板和外框密封，以防止液晶材料泄漏，并防止外界环境影响液晶性能。

切割

将完整的TFT基板切割成单个LCD面板，以满足不同的尺寸要求。

贴附偏光板

将偏光板贴附到LCD面板上，以控制液晶分子的光学特性，增强显示亮度和对比度。

背光模组

将背光模组安装在LCD面板的背面，为液晶显示提供照明。

模组检查

对组装好的LCD模组进行全面检查，确保其外观、性能符合要求。

外壳组装

将LCD模组安装到外壳中，以保护LCD模组，并提供更美观的外观。

功能测试

对组装好的LCD面板进行功能测试，确保其显示功能正常。

出货检验

对最终产品进行出货检验，确保所有产品符合质量标准，方可出货。

基板清洗

1

预清洁

去除表面灰尘和颗粒

2

去污

去除有机物和无机物

3

干燥

去除水分和残留物

4

检验

确保清洁度达到标准

基板清洗是TFT-LCD面板生产中的重要步骤，它可以确保玻璃基板表面清洁无杂质，从而确保后续工艺的顺利进行。

基板清洗通常使用多道工序，包括预清洁、去污、干燥和检验等。

光刻工艺

1

光刻胶涂布

将光刻胶均匀涂布在基板上，形成一层薄膜。

2

曝光

使用紫外光照射光刻胶，使光刻胶发生化学反应，形成图案。

3

显影

用显影液溶解未曝光的区域，显露出图案。

薄膜沉积

薄膜沉积是LCD面板制造工艺中的关键步骤之一。

通过薄膜沉积工艺，可以在基板上沉积各种功能性薄膜，例如TFT薄膜、彩色滤光片以及其他保护层。

1

溅射沉积

利用等离子体轰击目标材料，使其溅射到基板上。

2

蒸镀沉积

在真空环境下，利用加热或电子束使材料蒸发，然后沉积到基板上。

3

化学气相沉积

将气态反应物引入反应腔，在高温下发生化学反应，并在基板上生成薄膜。

离子注入

1

离子注入

离子注入是TFT-LCD面板生产中的关键工艺，它是在基板上注入特定离子，以改变材料的电气特性。

2

离子注入原理

通过电场加速离子束，使其轰击基板表面，离子进入基板内部并改变其电气特性，例如电阻率、电容率等。

3

离子注入应用

在TFT-LCD生产中，离子注入主要用于形成TFT薄膜晶体管的栅极、源极和漏极，以及其他功能层。

剥离

剥离定义

剥离是LCD生产工艺中的关键步骤，它是在光刻工艺后将多层光刻胶层分离的过程。

剥离原理

剥离利用不同的化学物质，例如溶剂或等离子体，来选择性地去除光刻胶层，而不损伤底层基板。

剥离目的

剥离的目的是为了将不需要的光刻胶层去除，并暴露底层基板，以便进行后续的蚀刻和沉积工艺。

剥离工艺

剥离工艺通常包括以下步骤：预处理、剥离、清洗和检查。

蚀刻

1

光刻胶去除

去除多余的光刻胶，暴露需要蚀刻的区域。

2

湿法蚀刻

使用化学试剂将未被光刻胶覆盖的区域蚀刻掉。

3

干法蚀刻

使用等离子体或其他方法，对特定材料进行蚀刻。

4

清洗

去除蚀刻残留物，确保蚀刻效果。

蚀刻是LCD生产工艺中的重要步骤，通过蚀刻可以形成所需的电路图案和结构。蚀刻方法主要分为湿法蚀刻和干法蚀刻，根据不同的工艺需求选择合适的蚀刻方法。

对准

1

对准精度

纳米级精度

2

光刻对准

对准系统

3

图案转移

关键工艺步骤

4

对准误差

影响良率

对准是LCD生产中重要的工艺步骤，