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曝光工艺流程示意图
玻璃盖板CoverLens
来料
检查
曝光镀ITO导电膜(镀膜机）光阻涂布（涂布机）
曝光
烘烤
后烘烤
剥膜（脱膜机）蚀刻（蚀刻机）显影（显影机）
镀膜
玻璃盖板CoverLens
镀ITO导电膜(镀膜机）
真空镀膜机
8486302200制造平板显示器用物理气相沉积装置
在来料玻璃盖板表面镀一层ITO导电膜(氧化铟锡)用于导电，如图中黄色示意部分
涂布
镀完ITO导电膜产品
光阻涂布（涂布机）
涂布机
在镀过ITO(氧化铟锡)
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