T_STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵.docxVIP

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STIC

团体标准

T/STIC110096—2024

半导体用多级罗茨干式真空泵

Multi-stagerootsdryvacuumpumpsforsemiconductor

2024-01-01发布2024-01-01实施

上海市检验检测认证协会发布

I

T/STIC110096—2024

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4型式、型号与基本参数 1

4.1型式 1

4.2型号 1

4.3基本参数 2

5技术要求 2

6测量方法 2

6.1测量装置 2

6.2测量条件 3

6.3抽气速率和极限全压力的测量 3

6.4消耗功率的测量 3

6.5外观的检查 3

6.6工作温度的测量 3

6.7噪声的测量 3

6.8入口最大允许压力的测量 3

6.9电气控制测试 3

6.10无油测试 3

6.11振动测试 4

6.12漏率测试 4

7抽样及判定方法 4

7.1抽样方法 4

7.2判定方法 4

8检验规则 4

9标志、包装、运输和贮存 5

9.1标志 5

9.2包装 5

9.3运输 6

9.4贮存 6

II

T/STIC110096—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由上海市检验检测认证协会提出并归口管理。

本文件起草单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。

本文件主要起草人：付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张毅。

本文件首批承诺执行单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会。

1

T/STIC110096—2024

半导体用多级罗茨干式真空泵

1范围

本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志GB/T3163真空技术术语

GB/T6995.4电线电缆识别标志方法第4部分:电气装备电线电缆绝缘线芯识别标志GB/T6995.5电线电缆识别标志方法第5部分:电力电缆绝缘线芯识别标志

GB/T13306标牌

GB/T16935.1低压系统内设备的绝缘配合第1部分：原理、要求和试验

GB/T19956.1容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量

GB/T19956.2容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量GB/T21271真空技术真空泵噪声测量

GB/T22360真空泵安全要求

JB/T11237-2011真空技术多级罗茨干式真空泵

3术语和定义

GB/T3163和JB/T11237-2011界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

极限压力下功耗Ultimatepressurepowerconsumption

泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试罩内趋向最低压力时单位时间中所消耗的能源的数量，单位为kW。

3.2

漏率Leakrate

已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。采用国际单