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NEMS的测试技术;课程目标和学习要点;NEMS测试技术的重要性;NEMS器件基本概念;微纳机电系统的构成;NEMS与MEMS的区别;NEMS的应用领域;NEMS测试的基本原理;测试系统的组成部分;静态测试与动态测试;测试环境要求;真空环境测试系统;温度控制系统;防震与隔振技术;电气测试基础;电学参数测量方法;电阻测量技术;电容测量技术;电感测量技术;机械特性测试;位移测量技术;力学测量方法;振动特性测试;共振频率测量;品质因数测定;微观形貌表征;扫描电镜测试;原子力显微镜测试;白光干涉测量;光学测试方法;激光多普勒测振;光学干涉测量;光纤传感测试;热学特性测试;温度分布测量;热导率测定;热膨胀系数测量;可靠性测试方法;疲劳测试技术;寿命预测方法;失效模式分析;数据采集系统;信号调理技术;数据处理方法;误差分析与校准;测试标准与规范;测试报告编制;常见问题与解决;NEMS测试案例一;NEMS测试案例二;NEMS测试案例三;新型测试方法探索;原位测试技术;高通量测试方法;智能测试系统;测试自动化技术;测试数据管理;质量控制体系;测试实验室建设;人员培训要求
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