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气敏传感功能控制器检测原理.pdfVIP

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GB/TXXXXX—XXXX

A

A

附录A

(资料性)

气敏传感功能控制器检测原理

本文件所述的气敏传感功能控制器所用气敏材料主要是微纳结构的SnO、WO、ZnO、InO等半导体

2323

材料。微纳结构气敏材料比表面积大,空隙结构丰富,表面和内部活性高。在空气中,其表面能大量吸

附氧分子,在一定的加热温度下,其化学吸附的氧将以O-或O2-的形成存在,由于这些氧负离子的吸附,

材料表面形成一定的电子耗散层,导致材料粒子间产生高势垒,引起材料表面电阻增大。当遇到还原性

气体(如H、CO、CH等)后,还原气体与吸附在表面的氧负离子发生反应,并将氧捕获的电子释放回

24

半导体材料表面,从而使材料电阻降低。为了有效提高半导体材料对气体的选择性和灵敏度,通常采用

复合、掺杂、活化等方式提高材料的响应特性。

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