TCASMES 432-2024 X射线光电子能谱（ XPS）测试服务规范.pdf

ICS17.180.30

CCSN33

团体标准

T/CASMES432—2024

X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范

SpecificationforX-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)testingservices

2024-11-25发布2024-12-01实施

中国中小企业协会发布

T/CASMES432—2024

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4基本要求1

5服务流程1

6服务质量管理3

I

T/CASMES432—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由杭州研趣信息技术有限公司提出。

本文件由中国中小企业协会归口。

本文件起草单位：杭州研趣信息技术有限公司、江苏集萃光电检测中心有限公司、常熟理工学院、

季华实验室、南通默斯检测有限公司、北京理工大学重庆创新中心、青岛大学、哈工大郑州研究院、广

东省科学院半导体研究所、哈尔滨工业大学。

本文件主要起草人：陈龙、朱旦、殷尧、殷文宇、周玉铎、顾坚、李亚丽、许红星、李文豪、王巧、

杨磊。

II

T/CASMES432—2024

X射线光电子能谱（XPS）测试服务规范

1范围

本文件规定了X射线光电子能谱（XPS）测试服务的基本要求、服务流程、服务质量管理。

本文件适用于科研机构、检测机构和企业实验室（以下简称“测试机构”）开展的X射线光电子

能谱（XPS）测试服务。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T19012质量管理顾客满意组织投诉处理指南

GB/T19038顾客满意测评模型和方法指南

GB/T19039顾客满意测评通则

GB/T33502表面化学分析X射线光电子能谱(XPS)数据记录与报告的规范要求

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4基本要求

4.1测试设备

4.1.1测试使用的XPS设备应具备出厂合格证，并定期进行校准和维护。

4.1.2应根据客户的测试需求选择具备测试能力的测试设备，设备的主要性能指标（如能量分辨率、

真空度、能量分析范围等），应符合相应技术文件的要求。

4.2测试环境

4.2.1测试场所应保持卫生、清洁，避免灰尘和污染物对测试结果的影响。

4.2.2测试场所相对湿度应控制在60%以下，温度控制在22℃～25℃。

4.2.3测试场所应具备良好的通风条件，确保设备运行的安全性和稳定性。

4.3测试人员

4.3.1测试人员应具备相关的专业知识和操作技能，经过专业培训并取得相应资格证书。

4.3.2测试人员应熟悉XPS设备的使用和维护，能独立完成样品制备、测试和数据分析工作。

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