2025年半导体无尘室安全工作规范 .pdfVIP

勿以恶小而为之，勿以善小而不为。——刘备

半导体无尘室安全工作规范

半导体无尘室安全工作规范

一、无尘室须知

在进入无尘室之前，必须通知管理人员并接受基本培训。

进入无尘室时，不得吸烟、进食、携带外来物品（如报纸、杂

志、铅笔等），并严禁嘻闹奔跑和团聚闲聊。

在进入无尘室之前，必须在指定地点脱鞋，将鞋子放置于

鞋柜中，外衣放置于衣柜中，私人物品放置于私人柜中，不得

在柜子里放置食物。

在进入无尘室之前，必须先穿上口罩、无尘帽、无尘衣和

鞋套，按照规定的程序穿戴整齐，然后经过空气洗尘室洗尘并

踩踏除尘地毯方可进入。在佩戴口罩时，必须将口罩戴在鼻子

之上，以遮盖口鼻孔，以免呼吸时污染芯片。

学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎

在穿着无尘衣和无尘帽之前，必须整理服装和头发，以免

穿上无尘衣后不得不整理，导致不适。穿戴无尘帽时，头发必

须完全覆盖在帽内，不得外露。无尘帽下摆要平散于两肩之上，

穿上工作衣后，方不致下摆脱出，裸露肩颈部。

穿戴无尘帽后，再穿上无尘衣。无尘衣应合适，以免裤管

或衣袖太短而裸露皮肤，穿衣时应注意帽子下摆应保持平整状

态，不得反穿。穿着无尘衣后，再穿上鞋套，拉上鞋套并将鞋

套整平，确保盖在裤管之上。戴手套时应避免用光手碰触手套

的手掌和指尖处（防止钠离子污染），戴上手套后，应将手套

的手腕置于衣袖内，以隔绝污染源。

穿着无尘衣和无尘帽后，必须经过洗尘并踩踏除尘毯，方

可进入无尘室。在进入或离开无尘室时，必须按规定在更衣室

脱下无尘衣，不得在其他区域脱衣，尤其不可在XXX室内走

动脱衣。

无尘衣、鞋套等必须定期清洗，有破损或脱线时，应立即

更换。脱下无尘衣时，顺序与穿戴时相反。脱下无尘衣后，必

须吊好并放在更衣室内的上层柜子里；鞋套应放置在吊好的无

以家为家，以乡为乡，以国为国，以天下为天下。——《管子》

尘衣下方。除规定的纸张和物品外，不得在更衣室内的小柜中

放置其他物品。任何物品进入无尘室时，必须用洒精擦拭干净。

任何设备进入无尘室之前，必须通知管理人员，并在XXX室

外擦拭干净，方可进入。未通过考核的仪器禁止使用，如遇紧

急情况，可以按照紧急处理步骤进行适当处理，例如关闭水、

电、气体等开关。

无尘室是一个非常重要的场所，因此在这里绝对不可以进

行火源操作，以免发生意外。

在操作芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净

镊子挟持芯片。请勿使用手指或其他任何东西接触芯片，如果

芯片被污染，必须经过清洗才能继续使用。任何一支镊子前端

（即挟持芯片端）如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去

清洗，请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。芯片清洗后进行下一程序

前，若被手指碰触过，必须重新清洗。把芯片放置于石英舟上，

准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由

镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的

镊子使用。

丹青不知老将至，贫贱于我如浮云。——杜甫

芯片必须放置在盒子里，盖起来存放在规定位置，尽可能

不让它暴露。在芯片上谈话会导致唾液溅于芯片上，因此在芯

片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾

有纤维屑时，用氮气枪喷之。从铁弗龙晶舟，石英舟等载具上

取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头

确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。如果芯片上