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古之立大事者，不惟有超世之才，亦必有坚忍不拔之志。——苏轼
半导体生产线设备维护与管理考核试卷
考生姓名：__________答题日期：__________得分：__________判卷人：__________
一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只
有一项是符合题目要求的）
1.半导体生产线设备维护的主要目的是（）
A.提高生产效率
B.降低生产成本
C.减少设备故障
D.A、B、C都是
2.下列哪种设备不属于半导体生产线设备？（）
A.光刻机
B.蚀刻机
C.冲压机
D.CVD/PVD设备
3.设备维护与管理中，预防性维护的主要内容是（）
A.定期检查设备性能
B.根据设备故障进行维修
C.更换磨损严重的零部件
D.提高设备负荷率
4.下列哪种方法不适用于半导体生产线设备的清洗？（）
A.超声波清洗
B.气流吹扫
C.高压水射流
D.火焰喷射
5.半导体设备维护过程中，对设备进行定期润滑的主要目的是（）
A.减少设备磨损
B.降低设备故障率
C.提高设备生产效率
D.A、B、C都是
6.下列哪种因素不会影响半导体生产线设备的稳定性？（）
A.设备本身质量
B.操作人员技能
C.生产环境
D.生产线布局
7.在半导体生产线设备维护与管理中，对设备进行分类的主要依据是（）
A.设备的购置价格
B.设备的生产效率
C.设备的故障率
D.设备的维修成本
8.下列哪个部门不负责半导体生产线设备的维护与管理？（）
A.设备管理部门
B.生产部门
C.人力资源部门
太上有立德，其次有立功，其次有立言，虽久不废，此谓不朽。——《左传》
D.技术部门
9.在半导体设备维护计划中，下列哪项内容不是必须考虑的因素？（）
A.设备的运行时间
B.设备的故障率
C.设备的维修成本
D.员工的加班时间
10.下列哪种设备维护方法适用于降低设备故障率？（）
A.定期维修
B.预防性维护
C.事后维修
D.A、B都是
11.在半导体生产线设备维护过程中，下列哪种做法是错误的？（）
A.按照设备说明书进行操作
B.定期检查设备紧固件
C.发现设备异常立即停机检查
D.任意调整设备参数以适应生产需求
12.下列哪种措施不能有效提高半导体生产线设备的生产效率？（）
A.优化生产流程
B.提高设备负荷率
C.降低设备故障率
D.减少设备维护时间
13.半导体设备维护与管理中，下列哪个指标最能反映设备运行状态？（）
A.设备开机率
B.设备负荷率
C.设备故障率
D.设备维修成本
14.下列哪种设备维护方法适用于设备磨损严重的部件？（）
A.定期维修
B.预防性维护
C.事后维修
D.状态监测
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