超洁净磁悬浮泵.docx

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团体标准T/CHPSAYY003—202

团体标准

T/CHPSAYY003—2024T/CMES24019—2024

超洁净磁悬浮泵

Ultra-cleanMagneticLevitationPump

求意见稿）

2024-10-01发布

2024-11-01实施

中国液压气动密封件工业协会

中国机械工程学会

ICS23.020.01

CCSJ20中国液压气动密封件工业协会

中国机械工程学会

ICS23.020.01

CCSJ20

发布

发布

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目次TOC\o1-3\h\z\u

前言 IV

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4泵结构、型号及参数 2

4.1泵结构 2

4.2型号 3

4.3主要性能参数 4

5要求 4

5.1总体要求 4

5.2应用环境 4

5.3关键部件 5

5.4生产制造 5

6技术要求 6

6.1金属污染物 6

6.2耐压性能 6

6.3压力流量特性 6

7试验方法 6

7.1金属污染物试验 6

7.2耐压试验 6

7.3压力流量特性试验 6

8检验规则 6

8.1检验分类及要求 6

8.2型式试验 7

8.3出厂检验 7

9标志、包装、运输和贮存 7

附录A（规范性）污染物技术指标 9

附录B(资料性)超洁净磁悬浮泵主要性能参数表 11

附录C(资料性)超洁净磁悬浮泵数据表 12

附录D（规范性）离子含量、金属含量及总有机碳含量检测 14

参考文献 16

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超洁净磁悬浮泵

范围

本文件规定了超洁净磁悬浮泵的型号、要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于半导体制程用超洁净磁悬浮泵。

规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

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