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挠曲电-压电功能梯度纳米悬臂梁力电耦合特性及应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着微纳机电系统（MEMS和NEMS）技术的飞速发展，对微纳尺度下材料和结构的力电耦合特性研究提出了更高的要求。挠曲电-压电功能梯度纳米悬臂梁作为微纳机电系统中的关键部件，因其独特的力电耦合性能，在传感器、驱动器、能量采集器等领域展现出了巨大的应用潜力。

在传感器领域，挠曲电-压电功能梯度纳米悬臂梁能够将外界的机械信号转换为电信号，其高灵敏度和快速响应特性使其成为检测微小力、压力、加速度等物理量的理想选择。例如，在生物传感器中，可利用其对生物分子的特异性吸附引起的微小形变，转化为可检测的电信号，