hemt微波毫米波领域中非常重要高速固态器件与.pdfVIP

HBT、HEMT是微波毫米波领域中非常重要的高速固态器件，其中HBT由于具有功率密度和

增益高、相位噪声低、线性度好、单电源工作、面积小和价格性能比特点，已经逐

步发展为MMIC领域中一个非常有竞争力的技术。目前，HBT已被广泛应用于高速光通信

系统，如光调制驱动电路、时钟提取、数据恢复、MUX/DEMUX和光电路。

HBT与HEMT比较，具有以下几个方面的优势：

（1）HBT是一种电流方向垂直于器件表面的双极型器件，器件速度由外延层的厚度和掺杂

水平决定。目前采用先进的外延生长技术（MBE和MOCVD）能够生长单原子层精度的高质

量外延层，应用能带工程与杂质工程优化异质结界面处非平衡载流子的输运特性，从而使

HBT具有微波毫米波的频率特性。由于HBT的横向尺寸对速度的影响相对较小，并且可以

通过合理的器件结构来优化，所以HBT对光刻的要求比较低，其特征尺寸通常为1~3μm。

HEMT的电流方向平行于器件表面，栅长决定器件的速度，要缩短横向传输时间就必须采用

先进的光刻工艺来减小栅长，HEMT要实现与HBT同等的频率，栅长通常为0.1~0.5μm，这

要求采用光刻技术。

（2）HBT是双极型器件，输出电流与输入电压呈指数关系，并且电流密度较高，导致高跨

导Gm(20~100)。而HEMT与MESFET的输出电流与输入电压呈线性关系，跨导Gm通常只

有HBT的十分之一左右。高的跨导可以在小的输入电压摆幅和低的输出阻抗时，实现对负

载电容的快速充电，这对于采用射极跟随器作为缓冲级的驱动电路是非常重要的，它可以提

高电路驱动能力。并且高增益允许在电路中采用负反馈形式，通过牺牲一部分增益来拓展带

宽，从而提高电路的高频性能。

（3）HBT的器件匹配性能非常好。HBT的开启电压Vbe由外延层的禁带宽度决定，与工艺

过程无关，其偏差仅为几个毫伏(3mV左右)。而HEMT的阈值电压由工艺控制精度决定，偏

差常大于20mV，对驱动电路来说，均匀的阈值电压可以获得匹配良好的级耦合逻辑

(ECL)，减小输出失真。

（4）HBT具有更低的输出电导Go(共极)。由于HBT采用异质结，基区可以采用重掺杂

而不影响注入效率，导致更低的基区宽度调制效应，使集电区电流受Vce的影响变小，低的

输出电导Go提高了直流电压增益的线性度，这在模拟电路中是十分重要的。

（5）HBT的电流垂直流过异质结界面，界面陷阱效应小，其1/f噪声比HEMT低。因此HBT

的高频振荡器、分频器和混频器能获得比HEMT更低的相位噪声。在低噪声应用方面，HEMT

是最佳选择。HBT由于采用中掺杂基区使基区电阻较小，也具有低噪声性能。

（6）HBT有效结面积上流过的电流密度大，击穿电压高，导致HBT的功率密度最好、线性

度最好，在频率不是太高时，其PAE也是最高的，所以HBT十分适用于功率应用的场合。

当然，HBT也存在一些缺点：

（1）与HEMT比较，HBT的开启电压较高，而且存在基极电流，导致功耗较高。值得一提

的是，GaAsHBT的开启电压较高(大约1.1V)，与GaAsHEMT的0.7V相比，当它作为射极

跟随器应用于驱动电路的缓冲级时，可以省去作为电平变换的二极管，简化电路形式。

（2）HBT的主要缺点是它的热可靠性问题。由于HBT工作时电流密度比较高，在自身发热

和邻近器件的散热的作用下器件温度的升高，温度对电流的正反馈效应导致器件性能变坏甚

至失效，电路的散热条件与材料的热性能是影响HBT的可靠性的关键。

近年来，随着MBE和MOCVD技术的发展，采用InGaP作为极的InGaP/GaAs日益受

到人们的重视。与传统的AlGaAS/GaAsHBT相比较，具有材料的热稳