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面向14nm及以下制程先进半导体制造的cmp、减薄系统及工艺开发项目评价分析报告;目录;PART;报告目的;;术语与定义;PART;;学术界与产业界合作;需开发适用于14nm及以下制程的高性能抛光液和抛光垫。;新材料与新工艺;PART;;;存在问题及解决方案探讨;随着集成电路特征尺寸的不断缩小,减薄系统及其关键工艺在集成电路制造领域的应用将越来越广泛。;PART;;涵盖项目的技术、经济、市场、风险等方面,全面评估项目价值。;具体评价指标解析;数据收集;PART;;减薄系统评价结果;工艺开发效果比较;设备利用率;PART;开发具有高效、低磨损、高选择比等特性的新型抛光液,提高CMP抛光效率和良率。;对减薄系统改进建议;加强工艺监控;智能化制造;感谢观看
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