2025-2026年中国涂胶显影设备行业市场发展分析及投资战略前景预测报告.pdfVIP

志不强者智不达，言不信者行不果。——墨翟

2025-2026年中国涂胶显影设备行业市场发

展分析及投资战略前景预测报告

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古之立大事者，不惟有超世之才，亦必有坚忍不拔之志。——苏轼

2020-2026年中国涂胶显影设备行业市场发

展分析及投资战略前景预测报告

涂胶显影设备（又称Track或Coater＆Developer）是光刻工序中与光刻

机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备，包括涂胶机（又称涂布机、匀胶机，英文

简称SpinCoater）、喷胶机（适用于不规则表面晶圆的光刻胶涂覆，英文简称

SprayCoater）和显影机（英文简称Developer）。在早期的集成电路和较低端

的半导体制造工艺中，此类设备往往单独使用（OffLine）。随着集成电路制造

工艺自动化程度及客户对产能要求的不断提升，在200mm（8英寸）及以上的大

型生产线上，此类设备一般都与光刻设备联机作业（InLine），组成配套的圆

片处理与光刻生产线，与光刻机配合完成精细的光刻工艺流程。

市场应用现状：随着集成电路生产技术不断进步，为提高光刻工艺精度，涂

胶显影设备应用的重要性日益凸显，成为集成电路制造的核心设备。涂胶显影设

备可以应用于集成电路制造前道晶圆加工领域，以及后道先进封装领域，其中，

应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的前道涂胶显影设备地位更为重要，市场

份额占比更大。

据中金企信国际咨询公布的《2020-2026年中国涂胶显影设备行业市场发展

分析及投资战略前景预测报告》统计数据显示：2015-2018年，全球前道涂胶显

影设备销售规模年均复合增长率为15.8%，2018年达到23亿美元以上；2015-2018

年，全球后道涂胶显影设备销售规模年均复合增长率为44.2%，2018年不足1

亿美元。2018年，中国涂胶显影设备市场规模为9亿美元左右，在全球市场中

的份额占比为35%。预计未来5年，全球涂胶显影设备需求增速将放缓，到2023

年，全球涂胶显影设备市场规模将达到27亿美元左右。

企业竞争分析：在全球涂胶显影设备市场中，日本东京电子（TEL）处于垄

断地位，市场份额占比超过86%，其他实力较强的企业还有SEMES、SCREEN等。

在我国涂胶显影设备市场中，TEL凭借强大的研发、技术与品牌优势，处于绝对

垄断地位，市场份额占比达到91%左右。TEL在中国大陆的涂胶显影设备市场中，

百学须先立志。——朱熹

处于绝对垄断地位。据中金企信国际咨询统计，在中国大陆的涂胶显影设备市场

中，TEL的市占率超过90%，而DNS、沈阳芯源等的市占率合计不到10%。

根据中金企信国际咨询统计数据：中国大区（含中国台湾地区）前道涂胶显

影设备销售额由2016年的8.57亿美元增长到2018年的8.96亿美元，预计2019

年将有所下降，2020年重回上升轨道，2023年将将达到10.26亿美元。

2016-2023年中国涂胶显影设备市场规模分析

2016年2018年2023年

市场规模，亿美元8.578.9610.26

数据统计：中金企信国际咨询

中国电子信息技术发展迅速，全球半导体产业逐步向中国大陆地区转移，

2017-2020年间，全球投产的晶圆工厂中，中国大陆地区数量占比达到40%以上。