《延迟型声表面波传感器阵列规范》征求意见稿.pdf

ICS31.140

CCSL50/54

XXXX

团体标准

T/XXXXXX—2021

延迟型声表面波传感器阵列规范

StandardofDelayedSurfaceAcousticWaveSensorArray

（征求意见稿）

2021-10-28发布2021-10-28实施

广东省市场协会发布

T/XXXXXX—20XX

前  言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由广州科慧健远医疗科技有限公司提出。

本文件由广东省市场协会归口。

本文件起草单位：广州科慧健远医疗科技有限公司、雅泰歌思（上海）通讯科技有限公司、广州言

成智能设备股份有限公司、科慧健远（广州）智能设备有限公司、广州鼎成信息科技有限公司、广州科

慧健远科学研究院有限公司、广州鹏远智能设备有限公司、上海赛欧信息技术有限公司、广州贝鼎科技

有限公司、澳门国际人工智能学会、永迅亚洲有限公司

本文件主要起草人：黄鑫、武瑞德、闫景浩、陈亮、卢国友、黄建恺、邱浩洋、武俊安、张文全

Ⅲ

T/XXXXXX20XX

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延迟型声表面波传感器阵列规范

1范围

本文件规定了规定了延迟型声表面波传感器阵列规范的术语和定义、延迟线型声表面波传感器阵列

的组成、叉指换能器设置、反射栅组设置、反射栅组合叉指换能器间距等规范。

本文件适用于延迟线型声表面波传感器阵列。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

延迟线型声表面波传感器（delayedsurfaceacousticwavesensor）

延迟线型声表面波在固体半空间的表面上可以传播，利用该特性在压电材料上将其能量集中在表面

附近形成弹性波再转换成其他能量参数，根据这些原理制成的传感器。主要用于，用于测量多种参数（例

如机械应变、应力、微小位移、作用力、温度等）。

3.2

压电基底（PiezoelectricSubstrate）

压电传感器通常采用光刻工艺加工，压电基底顾名思义就是使用压电材料作为光刻工艺的衬底。

3.3

叉指换能器（inter-digitaltransducer，IDT）

用以实现声电换能，正负电极周期性交叉排列，以状如手指交叉得名。其工作原理是利用逆压电效

应（周期性交变电场产生形变）和压电效应（周期性形变产交变电场）工作。

3.4

反射栅组（reflectinggratingsuits）

反射栅是沉积在压电基底表面的金属阵列，阻抗不匹配实现声表面波（SAW）的反射，反射波携

带了时延和相位信息。反射栅组是多个反射栅按照一定规则的组合，实现压电传感器的编码和感应。

1延迟线型声表面波传感器阵列组成

延迟线型声表面波传感器阵列，包括：阅读器100和六个（可以更多，也