气体纯化设备，全球前6强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdfVIP

全球市场研究报告

气体纯化设备主要是根据原料气中所含的不同成分杂质以及需要去处的杂质，采用不同的工艺对原料气进

行提纯的设备。提纯技术包括化学反应、物理吸附、化学吸附等。常用的如催化反应、分子筛吸附、超低温

吸附、金属吸气剂吸附，钯合金膜扩散纯化等。

随着半导体工艺的不断升级，对气体纯度的要求越来越高。制造过程中的任何微小杂质（如水分、氧气、二

氧化碳、氨气等）都可能影响到芯片的良品率。因此，气体纯化设备的发展不仅要去除常见的杂质，还要能

够有效去除更难处理的微量物质。

据QYResearch调研团队最新报告“全球脂质纳米粒子（LNP）生产设备市场报告2024-2030”显示，预计

2030年全球脂质纳米粒子（LNP）生产设备市场规模将达到3亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为

29.9%。

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图.气体纯化设备，全球市场总体规模

全球市场规模($Mn)

201920242030

来源：QYResearch电子及半导体研究中心

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图.全球气体纯化设备市场前10强生产商排名及市场占有率（基于2023年调研数据；目前最新数据以

本公司最新调研数据为准）

全球市场主要企业排名

Entegris

大连华邦化学

TaiyoNipponSanso

上海先普气体技术

AirWaterMechatronics

NuPure

来源：QYResearch电子及半导体研究中心。行业处于不断变动之中，最新数据请联系QYResearch咨询。

根据QYResearch头部企业研究中心调研，全球范围内气体纯化设备生产商主要包括Entegris、大连华邦化

学等。2023年，全球前三大厂商占有大约85.0%的市场份额。

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图.气体纯化设备，全球市场规模，按产品类型细分，吸附式纯化设备处于主导地位

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吸附式纯化设备吸气剂式纯化设备催化剂纯化设备合计

来源：QYResearch电子及半导体研究中心

就产品类型而言，目前吸附式纯化设备是最主要的细分产品，占据大约43.52%的份额。

图.气体纯化设备，全球市场规模，按应用细分，薄膜沉积是最大的下游市场，占有41.06%份额。

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薄膜沉积光刻刻蚀其他合计

来源：QYResearch电子及半导体研究中心

就产品应用而言，目前薄膜沉积是最主要的需求来源，占据大约41.06%的份额。

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图.全球气体纯化设备规模，主要生产地区份额（按产值）

MarketSizeByRegion,2019Vs2023VS2030