《激光加工机床 微结构检测方法 第2部分：微槽》-征求意见稿.pdf

ICS25.080.99

CCSJ50

CAMS

团体标准

T/CAMSXXXX—XXXX

激光加工机床微结构检测方法

第2部分：微槽

点击此处添加标准名称的英文译名

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国机械工业标准化技术协会  发布

T/CAMSXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

《激光加工机床微结构检测方法》分为四部分：

——第1部分：微孔；

——第2部分：微槽；

——第3部分：微切割；

——第4部分：微抛光。

本文件为激光加工机床微结构检测方法的第2部分。

本文件由中国机械工业标准化技术协会提出。

本文件由中国机械工业标准化技术协会机床专业委员会归口。

本文件起草单位：西安交通大学等

本文件主要起草人：梅雪松等

本文件为首次发布。

II

T/CAMSXXXX—XXXX

激光加工机床微结构检测方法

第2部分：微槽

1范围

本文件规定了激光加工机床微结构中微槽的基本检测与评价方法等，包括微槽的尺寸和形貌特征的

测量仪器及量具、样品制备、检测方法、测试和分析、检测报告等。

本文件也可以用于其他设备加工的微槽的检测。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

微槽Microgroove

矩形截面的有一定深度的微结构，其中，微结构顶部轮廓的矩形最短边的长度≤500µm。

微槽的顶部/入口宽度Microgroovetop/inletwidth

脉冲激光最先到达的样片表面微槽的宽度，包括微盲槽顶部/入口宽度和微通槽入口宽度，记为微

槽的顶部/入口宽度。

微槽的底部/出口宽度Microgroovebottom/outletwidth

脉冲激光沿着微槽深度方向最终去除材料截面的宽度，包括微盲槽底部宽度和微通槽出口宽度。

微槽的顶部/入口宽度精度Accuracyofmicrogroovetop/inletwidth

相同激光加工参数在相同材料样片表面加工的微槽的顶部/入口轮廓宽度的尺寸精度。

微槽的底部/出口宽度精度Accuracyofmicrogroovebottom/outletwidth

相同激光加工参数在相同材料样片表面加工的微槽底部宽度的尺寸精度。

注：仅对微盲槽。

相同激光加工参数在相同材料样片表面加工的微槽的出口宽度的尺寸精度。

注：仅对微通槽。

微槽的直线度Microgroovestraightness

特指微槽顶部/入口轮廓的直线度。

注：仅对微盲槽。

特指微槽顶部/入口轮廓的直线度和微槽底部/出口轮廓的直线度。

注：仅对微通槽。

微槽的深度