DB13T 6034-2024热场发射电子枪灯丝更换与调校规范.docxVIP

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CCSL90

DB13

河北省地方标准

DB13/T6034—2024

热场发射电子枪灯丝更换与调校规范

2024-11-28实施2024-10-28发

2024-11-28实施

河北省市场监督管理局发布

I

DB13/T6034—2024

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中共河北省委军民融合发展委员会办公室提出。

本文件由河北省军民融合标准化技术委员会(HeB/TC21)归口。

本文件起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、河北杰微科技有限公司。

本文件主要起草人：郝晓亮、吴爱华、赵英伟、王秀海、孙虎、曹健、马培圣、张文雅、文黎波、乔玉娥、郑飘逸、王维、赵伟、陈立红。

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DB13/T6034—2024

热场发射电子枪灯丝更换与调校规范

1范围

本文件给出了热场发射电子枪灯丝的失效判断标准，并规定了热场发射电子枪灯丝的更换和调校操作流程等。

本文件适用于应用于电子束光刻机、扫描电镜、关键尺寸扫描电子显微镜等设备仪器的热场发射电子枪灯丝的更换和调校，其它类型的电子枪灯丝的更换与调校不适用于本文件。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T11651个体防护装备选用规范

GB50073洁净厂房设计规范

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4概述

热场发射电子枪的结构如图1所示，包含：灯丝、抑制极、提取极、聚焦极、阳极。

热场发射电子枪的灯丝结构如图2所示，主要由钨单晶、氧化锆组成。氧化锆的作用是使电子更容易从灯丝发射。灯丝在使用过程中氧化锆会消耗，当氧化锆耗尽时，灯丝不能稳定地发射电子，灯丝失效，需要对灯丝进行更换。热场发射电子枪的灯丝的寿命通常是2-5年，需要定期更换。

灯丝更换完成以后，要对电子枪进行调校，以使电子枪能工作在合适的工作点，提高灯丝的使用寿命。

5一般要求

5.1人员

5.1.1应掌握电子光学等相关知识，能正确判断故障部位并进行更换操作。

5.1.2应具备正确使用维修检测工具、仪器的能力。

5.1.3维修人员应按要求穿戴工作服、工作帽、工作鞋，正确佩戴劳动防护用品。

5.2环境

5.2.1空气洁净度等级：满足GB50073规定的2级及以上等级要求。

5.2.2温度：22℃±2℃。

5.2.3相对湿度：30%～70%。

5.3安全

5.3.1维修人员按照GB/T11651的要求使用个体防护装备。

5.3.2维修人员应按操作要求正确使用工具。

5.3.3维修过程涉及高压，电压最高达到100kV,维修人员应严格遵守安全规定，按操作规程操作。

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图1热场发射电子枪结构图

图2热场发射电子枪灯丝结构图

6仪器设备

6.1仪器

使用的仪器要求如下：

a)应进行定期检定或校准，并在检定或校准有效期内使用；

b)应满足检测、验证等的使用要求；

c)应满足安全要求，且其技术指标符合表1的规定。

表1使用仪器技术指标

名称

技术要求

用途

数字多用表

电阻：0.1Q～2MQ,最大允许误差：±1%

用于灯丝的电阻检测

公制塞尺

0.01mm~3mm规格，最大允许误差：±1%

用于检测聚焦极对中

显微镜

分辨力1μm

用于检测提取极对中

绝缘电阻测试仪

电阻：1MQ～200MQ,最大允许误差：±10%

用于灯丝的绝缘度检测

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6.2设备工具及辅助材料

使用的设备工具及辅助材料要求如下：

a)工具应完好无损、洁净，规格尺寸应与电子枪的尺寸相适应；

b)紧固工具的额定力矩应符合对应螺母紧固要求。

c)主要设备工具及辅助材料技术指标应符合表2的规定。

表2主要设备工具及辅助材料

名称

技术要求

烘箱

30℃~70℃,最大允许误差：±5%

超声清洗机

功率：50W~150W,最大允许误差：±5%

内六角扳手

0.5mm～12mm-

氮气枪

氮气压力：0.3MPa～0.4MPa

丙酮

含量≥99.