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物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究资料集.docx

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    物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究资料集

    目录

    一、物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究项目申报书

    二、物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究立项申请书

    三、物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究阶段性成果报告

    四、物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究最终成果报告

    物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究项目申报书

    一、项目基本信息

    项目名称：物理气相沉积技术在薄膜材料制备中的关键参数研究项目

    项目负责人：张三

    项目组成员：李四、王五、赵六

    项目起止时间：2023年1月1日至2025年12月31日

    项目预算：人民币100万元

    项目执行单位：

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