含氟中水回用处理技术规程 DB3402 T 90—2024.pdfVIP

ICS13.030.50

CCSZ05

3402

芜湖市地方标准

DB3402/T90—2024

含氟中水回用处理技术规程

Technicalcodeofpracticeforthereuseandtreatmentoffluorine-containing

wastewater

2024-12-16发布2025-01-01实施

芜湖市市场监督管理局发布

DB3402/T90—2024

含氟中水回用处理技术规程

1范围

本文件规定了含氟中水回用处理一般要求、回用处理、再生水水质、水质监测。

本文件适用于半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的含氟中水的回收利用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB18599一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准

GB/T19923城市污水再生利用工业用水水质

GB39731电子工业水污染物排放标准

DB34/4294半导体行业水污染物排放标准

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

含氟中水fluorine-containingwastewater

半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的经除氟处理后达到接管排放要求的污水。

3.2

再生水recycledwater

城市污水经适当再生工艺处理后，达到一定水质要求，满足某种使用功能要求，可以进行有益使用

的水。

[来源：GB/T19923—2024，3.2]

4基本要求

4.1含氟中水水质

含氟中水水质应满足表1要求。

表1含氟中水水质

项目要求

化学需氧量/（mg/L）≤80

氨氮/（mg/L）≤5

悬浮物/（mg/L）≤250

氟化物/（mg/L）≤20

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DB3402/T90—2024

4.2表1含氟中水水质（续）

项目要求

pH值6.0～9.0

注：未约定项排放应符合GB39731的要求。

4.3回用率

回用率应不低于70%。

4.4未被回用水水质

未被回用的含氟中水水质应不低于DB34/4294的要求。

5回用处理

5.1处理流程

含氟中水回用处理流程见图1。