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基于滑动螺旋传动的新型双驱微量伺服运动系统：设计、性能与应用

一、引言

1.1研究背景与动机

在现代制造业持续进步的背景下，各领域对产品精度与质量的要求愈发严苛。尤其是在精密加工、微机电系统（MEMS）制造、光学仪器制造等行业，高精度的微量进给成为实现产品高质量制造的关键环节。例如，在芯片制造过程中，需要将光刻设备的工作台定位精度控制在纳米级，以确保芯片上电路图案的精确转移；在微机电系统制造中，为了制造出尺寸微小、性能优越的微传感器和微执行器，对加工设备的微量进给精度要求极高，误差需控制在亚微米甚至纳米量级。

微量进给技术的核心在于能够精确地控制微小位移的输出，这对于提升产品的性能和制造效