T CPIA 0100—2024 光伏电池用掺杂层薄层方块电阻的测量方法.pdfVIP

ICS27.160

CCSF12

团体标准

T/CPIA0100—2024

光伏电池用掺杂层薄层方块电阻的测量方

法

Methodformeasuringsquareresistanceofphotovoltaiccellsdopinglayer

2024-12-15发布2024-12-30实施

中国光伏行业协会  发布

T/CPIA0100—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口。

本文件起草单位：石家庄晶澳太阳能科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技

股份有限公司、浙江晶科能源有限公司、天合光能股份有限公司、扬州阿特斯太阳能电池有限公司、英

利能源发展有限公司、正泰新能科技股份有限公司、中润新能源（徐州）有限公司、浙江凯盈新材料有

限公司

本文件主要起草人：许志卫、刘晓娜、李其聪、王玉肖、武晓燕、王贵梅、王静、张昕宇、王兵、

衡阳、于波、胡党平、陈实、杨银龙。

III

T/CPIA0100—2024

光伏电池用掺杂层薄层方块电阻的测量方法

1范围

本文件规定了四探针法测试晶体硅光伏样品掺杂层方块电阻的方法原理、要求、样品制备、测试步

骤、数据处理和报告。

本文件适用于光伏电池掺杂层方块电阻的测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T14264半导体材料术语

JJG508-2004四探针电阻率测试仪

JJF1760-2019硅单晶电阻率标准样片校准规范

3术语和定义

GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。

3.1

四探针测试法four-probemethod

通过在被测样品（掺杂层）上施加电流和探测电压，利用四个探针来准确测量样品电阻值的测试方

法。

4原理

在硅片样品上进行掺杂后，得到P型或N型导电类型的光伏电池样品，测试原理示意图见图1。在1、

4探针间加上固定电流，测量2、3探针之间电压差，按公式（1）计算方块电阻：

图1四探针测试原理

RV/IF（S/D）F（W/S）FF··········································（1）

sqspt

式中：

R——样品方块电阻，单位为欧姆/方块（Ω/□）；

sq

V——2、3探针间取出的电压值，单位为毫伏（mV）；

I——1、4探针流过的电流值，单位为毫安（mA）；

D——样品直径，单位为毫米（mm）；

1

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