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高精度激光干涉仪在微纳测量中的应用研究论文

摘要：

本文旨在探讨高精度激光干涉仪在微纳测量领域的应用研究。通过对高精度激光干涉仪的工作原理、技术特点及其在微纳测量中的应用进行详细分析，旨在为相关领域的科研工作者和工程技术人员提供理论指导和实践参考。

关键词：高精度激光干涉仪；微纳测量；应用研究

一、引言

（一）高精度激光干涉仪概述

1.内容一：高精度激光干涉仪的定义与分类

1.1高精度激光干涉仪是一种基于光学干涉原理的测量仪器，能够对微米级乃至纳米级的长度、角度、位移等物理量进行高精度测量。

1.2按照测量原理，高精度激光干涉仪可分为迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、泰勒干涉仪等。

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