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超精密机床振动控制技术研究论文

摘要：

本文针对超精密机床振动控制技术的研究现状和挑战，从振动源识别、振动抑制方法、振动控制策略等方面进行了综述。通过对现有振动控制技术的分析，探讨了超精密机床振动控制技术的发展趋势和未来研究方向，为超精密机床的振动控制提供了理论指导和实践参考。

关键词：超精密机床；振动控制；振动源识别；抑制方法；控制策略

一、引言

（一）超精密机床振动控制技术的重要性

1.内容一：提高加工精度

1.1超精密机床在加工过程中，振动会对加工精度产生直接影响。通过振动控制技术，可以有效减少振动对加工精度的影响，提高加工零件的尺寸精度和表面质量。

1.2振动控制技术的研究与应用

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