《集成电路制造工艺项目化实践》 课件 项目8 芯片塑封与成型.pptx

;项目导读;塑料封装

采用塑料封装工艺，使用塑封机、高温烘箱以及热固性塑料（塑封料），完成将框架上裸露的芯片、键合线等结构被环氧树脂包裹起来的塑料封装任务。

在塑料封装时，要避免填充不足、粘模、溢料以及气孔等不合格现象。

目前使用的封装材料大部分都是聚合物，即所谓的塑料封装，塑料封装简称塑封，是最为常用的封装方式。它是一种用绝缘的塑料包封电子元件的技术，具有成本低、工艺简单、工作温度低、可靠性高等优点。;塑料封装

塑封的作用

键合之后的芯片（即晶粒）在引线框架上仍处于裸露状态，易受到外部环境的影响而出现损坏或氧化等情况。通过在外部包裹壳体的形式，可以很好的将其保护起来。塑料封装因其工艺简单、成本低、自动化程度高等特点被广泛应用。

对裸露芯片进行塑料封装可以有效防止湿气等外部入侵，起到支撑、保护、散热等作用，并且提供了一个可手持的形体。;塑料封装

塑封的原材料，如图8-1所示。

塑封原材料一般采用热固性塑料，也称为塑封料。热固性塑料是以热固性树脂为主要成分而制成的塑料，其特性是：在低温时是塑性的、流动的；温度加热到一定范围时，聚合物分子发生交联反应，形成刚性固体；当加热温度过高时，则聚合物会变软（但不会融化）。塑封料外观，如图8-1所示。;塑料封装

塑封的质量要求

塑封前后的外观对比，如图8-2所示。

塑封后，框架上裸露的芯片、键合线等结构被环氧树脂包裹，塑封体内部的结构如图8-3所示。;塑料封装

在塑封过程中，会出现不同的异常现象，常见的塑封质量异常及其产生原因，如表8-1所示。;8.1.2塑封设备;8.1.2塑封设备;;;;;8.1.3塑封实施;8.1.3塑封实施;8.1.3塑封实施;8.1.3塑封实施;8.1.3塑封实施;8.1.3塑封实施;8.1.3塑封实施;;8.1.3塑封实施;;8.1.3塑封实施;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;8.1.4塑封常见异常故障排除;激光打标是芯片打标的方式之一，其利用激光在塑封体上面打上标识，比如制造???信息、批号、产品名称、生产日期等内容。

激光打标的作用

在塑封之后，塑封体表面是没有任何内容的，此时如果发生混料或散落等情况会很难辨识，且不便于后期对物流的跟踪。所以在塑封之后，大部分工艺会在产品的正面或背面进行打标操作。

激光打标就是利用激光在塑封体上面打上去不掉的、字迹清楚的标识，方便后续对元件的跟踪与辨识。;芯片打标方式

在芯片上印字的方式有很多，主要有以下几种。

直印式：像印章一样直接将内容印在塑封体上。

转印式：使用转印头，从字模上将内容蘸印，再印字在塑封体上。

激光刻印式：利用激光直接在塑封体上刻印内容。

直印式和转印式均通过油墨实现，油墨打标字迹比较深，对比清晰，但对模块表面要求较高，若模块表面有沾污现象，油墨就不易印上去，且油墨比较容易擦除。;激光打标精度较高、字迹不易擦除，且不产生机械挤压和应力，不会损害被加工芯片，热影响区域也较小，但相较于油墨打标而言，它的字迹较淡，对比不明显。激光打标效果，如图8-28所示。;激光打标是芯片打标的方式之一，其利用激光在塑封体上面打上标识，比如制造商信息、批号、产品名称、生产日期等内容。

激光打标的作用

在塑封之后，塑封体表面是没有任何内容的，此时如果发生混料或散落等情况会很难辨识，且不便于后期对物流的跟踪。所以在塑封之后，大部分工艺会在产品的正面或背面进行打标操作。

激光打标就是利用激光在塑封体上面打上去不掉的、字迹清楚的标识，方便后续对元件的跟踪与辨识。;芯片打标方式

在芯片上印字的方式有很多，主要有以下几种。

直印式：像印章一样直接将内容印在塑封体上。

转印式：使用转印头，从字模上将内容蘸印，再印字在塑封体上。

激光刻印式：利用激光直接在塑封体上刻印内容。

直印式和转印式均通过油墨实现，油墨打标字迹比较深，对比清晰，但对模块表面要求较高，若模块表面有沾污现象，油墨就不易印上去，且油墨比较容易擦除。;激光打标精度较高、字迹不易擦除，且不产生机械挤压和应力，不会损害被加工芯片，热影响区域也较小，但相较于油墨打标而言，它的字迹较淡，对比不明显。激光打标效果，如图8-28所示。;;激光打标流程;激光打标流程;领料确认

;参数设置

;激光打标流程;结批

;激光打标工艺在检查打标制品时，常见的不合格现象有打标内容错误、打标字体错误、字迹模糊或缺损等。出现故障时，及时分析原因并做出相应的处理，以减少损失。;原因分析：选择了错误的打标文件，即调用时选择的文件与随件单不一致，导致调取了其他芯片的打标内容，此时打标出来的