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《2024 3539-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法》知识培训.pptx

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    《20243539-T-469微机电系统（MEMS）技术MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法》知识培训掌握先进MEMS技术，提升性能测试能力

    目录MEMS技术概述01MEMS驻极体式振动能量收集器简介02性能测试方法概述03振动能量收集器性能测试步骤04常见问题与解决方案05实验探究与案例分享06互动环节与思考题07总结与建议08

    01MEMS技术概述

    定义与原理010203MEMS技术的定义微机电系统（MEMS）是一种集成微型传感器、执行器和处理电路的系统，它通过微加工技术在硅基板上制造出微小的机械结构。MEMS技术的工作原理MEMS设备的工作原理主要依赖于其内部的微型机械结构，

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