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微机电系统工程单选题100道及答案解析
1.微机电系统中，用于将机械能转换为电能的常用器件是（）
A.微加速度计
B.微陀螺仪
C.微压电发电机
D.微压力传感器
答案：C
解析：微压电发电机可利用压电效应将机械能转换为电能，A选项微加速度计主要测加速度，B选项微陀螺仪测角速度，D选项微压力传感器测压力。
2.以下哪种工艺常用于微机电系统的表面微加工？（）
A.光刻
B.铸造
C.锻造
D.车削
答案：A
解析：光刻是微机电系统表面微加工的关键工艺，用于图形转移。铸造、锻造、车削是传统机械加工工艺，不常用于微机电表面微加工。
3.微机电系统中，能对微小位移进行高精
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