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ICS31.260
CCSL51
团体标准
T/JGXH005—2020
台
平
息
超快激光精密微纳加工设备
信
Ultrafastlaserprecisionmicronanomachiningequipment
准
标
体
团
国
全
2020-12-30发布2020-12-31实施
武汉激光学会
发布
武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
台
平
息
信
准
标
体
团
国
全
T/JGXH005—2020
目次
前言Ⅱ
台
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
平
4主要技术参数1
5技术要求2
5.1使用条件2
息
5.2加工质量2
5.3装配质量2
5.4外观质量2
5.5其他部件2
信
5.6主要参数3
5.7冷却系统3
5.8运动控制系统3
6安全与防护3
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