离子束表面改性技术研究综述.pptxVIP

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离子束表面改性技术研究综述.pptx

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离子束表面改性技术研究综述;目录概念原理特点应用领域发展前;离子束表面改性技术是70年代;应用领域离子注入技术应用微电子;离子注入技术在微电子工业中的应;应用领域;生物医学中应用主要用于假体、骨;应用领域人造髋关节;应用领域合金假体;大量实验结果证明，当采用高能量;应用领域返回;电离室;优点精确控制掺杂数量、深度与位;缺点注入层薄，一般1μm工艺;发展前景随着离子注入技术的发展;离子注入属原子级表面加工技术。;无标题