T∕ZZB 1373-2019 7N光电子级超纯氨.docxVIP

ICS71.100.20G86

团体标准

T/ZZB1373—2019

7N光电子级超纯氨

7Nphotoelectricclasshyperpureammonia

2019-11-27发布2019-12-31实施

浙江省品牌建设联合会发布

T/ZZB1373—2019

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4基本要求 2

5技术要求 2

6试验方法 3

7检验规则 4

8标志、包装、贮运及安全要求 5

9质量承诺 6

T/ZZB1373—2019

II

前言

本标准依据GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。

本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。

本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司。

本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）。

本标准主要起草人：陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）。

本标准评审专家组长：孙卫萍。

本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司负责解释。

T/ZZB1373—2019

1

7N光电子级超纯氨

1范围

本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。

本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。

分子式：NH3。

相对分子质量：17.031（按2016年国际相对原子量）。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T150.3压力容器第3部分：设计

GB190危险货物包装标志

GB/T536—2017液体无水氨

GB1589汽车、挂车及汽车列车外廓尺寸、轴荷及质量限值GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T13004钢质无缝气瓶定期检验与评定GB/T13075钢质焊接气瓶定期检验与评定

GB/T14601电子工业用气体氨

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB20300道路运输爆炸品和剧毒化学品车辆安全技术条件

GB31573无机化学工业污染物排放标准

GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

TSG21固定式压力容器安全技术监察规程

TSGR0005移动式压力容器安全技术监察规程TSGR0006气瓶安全技术监察规程

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

7N光电子级超纯氨7Nphotoelectricclasshyperpureammonia纯度达到99.99999%的氨。

T/ZZB1373—2019

2

4基本要求

4.1设计研发

采用化工模拟软件计算工艺参数、优化工艺流程、制定目标产品的工艺设计方案，实现客户需求。

4.2原料

液体无水氨应符合GB/T536—2017规定的一等品要求。

4.3工艺及装备

4.3.1采用双塔或多塔精馏工艺。

4.3.2生产过程中采用分布式控制系统（DCS），实现原料卸料、产线进料、精馏塔精馏、出料口在线

分析、成品充装的自动化集中控制。

4.3.3生产现场应采用化工安全仪表系统（SIS）及自动消防喷淋设施。

4.4环保

采用物理分离操作，对生产过程产生的液态废氨冷凝回流至储罐回收利用，实现废水率为零；生产过程产生的废气经尾气处理装置吸收，排放符合GB31573的要求。

4.5检验检测

4.5.1应采用检测限为0.01×10-6（体积分数，以CH4计）的气相色谱分析仪进行氢、氧（氩）、氮、

烃（