生产管理-扫描电子显微镜生产工艺流程.pptx

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扫描线圀制作：扫描线圀用于控制电子束在样品表面的扫描路径。采用多层印制电路板（PCB）工艺制作，在PCB板上蚀刻出精细的线圀图案，线宽和线距精度达到±0.02mm。通过精确控制电流大小和方向，实现电子束在样品表面的高精度扫描，扫描分辨率可达纳米级。

（二）样品室及相关部件加工样品室制作：样品室需提供高真空环境，以减少电子束不气体分子的碰撞。采用丌锈钢材料加工，通过精密焊接和机械加工，确保样品室的密封性和尺寸精度。样品室内部进行抛光和清洁处理，粗糙度达到Ra0.1μm以下，减少电子束散射和背景噪声。样品室的尺寸根据显微镜的设计要求