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超精密加工技术在半导体制造中的高精度微细磨削技术报告.docx

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    超精密加工技术在半导体制造中的高精度微细磨削技术报告

    一、项目概述

    1.1项目背景

    1.1.1半导体产业发展需求

    1.1.2国际竞争压力

    1.1.3产业链发展推动

    1.2技术发展现状

    1.2.1我国现状

    1.2.2国外现状

    1.3市场前景

    1.3.1需求增长

    1.3.2企业竞争优势

    1.3.3经济增长活力

    二、技术原理与工艺流程

    2.1技术原理

    2.1.1磨削原理

    2.1.2磨削过程

    2.1.3磨削要素

    2.2工艺流程的关键环节

    2.2.1磨削前准备

    2.2.2磨削过程控制

    2.2.3磨削后处理

    2.3技术参数与优化

    2.3.1磨具参数

    2.3.2磨

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