范德华力作用下微悬臂梁动力系统的特性分析与精准控制策略研究.docx

范德华力作用下微悬臂梁动力系统的特性分析与精准控制策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

微机电系统（MEMS）作为现代科技领域的关键技术之一，在众多领域展现出了巨大的应用潜力。从医疗诊断、环境监测到航空航天、信息技术，MEMS器件凭借其微小尺寸、低功耗、高灵敏度等优势，成为推动各领域技术进步的重要力量。微悬臂梁作为MEMS中一种典型且基础的结构，在MEMS器件中扮演着核心角色，其性能的优劣直接影响着整个MEMS系统的功能和可靠性。

微悬臂梁通常是一种一端固定、另一端自由的微型结构，其长度和宽度一般在微米量级，厚度则在亚微米量级。由于其尺寸微小，具有较高的表面体积比，这使得