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超精密加工技术在半导体制造中的高性能微电子器件制造产业链整合与竞争力提升报告.docx

超精密加工技术在半导体制造中的高性能微电子器件制造产业链整合与竞争力提升报告.docx

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    超精密加工技术在半导体制造中的高性能微电子器件制造产业链整合与竞争力提升报告范文参考

    一、超精密加工技术在半导体制造中的高性能微电子器件制造产业链整合与竞争力提升报告

    1.1技术背景

    1.2产业链整合

    1.2.1原材料采购

    1.2.2设备制造

    1.2.3加工工艺

    1.2.4质量控制

    1.2.5产品封装

    1.3竞争力提升

    1.3.1技术创新

    1.3.2人才培养

    1.3.3政策支持

    二、超精密加工技术在半导体制造中的应用现状及挑战

    2.1技术应用现状

    2.1.1光刻技术

    2.1.2蚀刻技术

    2.1.3抛光技术

    2.2技术挑战

    2.2.1材料挑战

    2.2.2精度挑

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