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SiC粒径对电沉积过程的影响研究
目录
内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1.1电沉积技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1.2SiC材料的应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.3研究SiC粒径影响的必要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.2.1电沉积过程研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.2.2SiC粒子对材料性能影响研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
1.2.3SiC粒径对电沉积影响的相关研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.3.2具体研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
1.4.1实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.4.2技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
实验部分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.1实验材料与试剂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
2.1.1主要材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
2.1.2实验试剂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
2.1.3主要设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
2.2实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
2.2.1电沉积工艺参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.2.2SiC粒径的控制与制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
2.2.3样品制备与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.3表征方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.3.1物理性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
2.3.2化学成分分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.3.3微观结构观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
3.1SiC粒径对电沉积电流效率的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
3.1.1不同粒径SiC的电流效率对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
3.1.2电流效率变化机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
3.2SiC粒径对电沉积层形貌的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
3.2.1不同粒径SiC沉积层的表面形貌．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
3.2.2粒径对形貌的影响规律．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
3.3SiC粒径对电沉积层厚度的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
3.3.1不同粒径SiC对沉积速率的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
3.3.2粒径对厚度
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